1、用于較高的 行星減速機(jī)(分為齒輪減速器、蝸桿減速器等)不能直排大氣，如直排大氣會(huì)構(gòu)成行星減速機(jī)吸氣口與排氣口壓差太大，從而使行星減速機(jī)過(guò)載，為確保能抵達(dá)較高真空有必要確保行星減速機(jī)轉(zhuǎn)子(rotor)之間的 空地。齒輪減速機(jī)正齒輪減速器則用于較低的電流消耗，低噪音和高效率低成本應(yīng)用。
　　2、行星減速機(jī)運(yùn)用時(shí)設(shè)有前級(jí)泵，用前級(jí)泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力吸至一定范圍內(nèi)時(shí)再運(yùn)轉(zhuǎn)行星減速機(jī)，如此可以避免行星減速機(jī)出現(xiàn)過(guò)載現(xiàn)象，前級(jí)泵可以選用水環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復(fù)式真空泵等可直排大氣的 真空泵。
　　3、由于行星減速機(jī)(分為齒輪減速器、蝸桿減速器等)的 轉(zhuǎn)子不斷翻轉(zhuǎn)，被吸氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的 空間內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出，由于吸氣后空間是全關(guān)閉情況，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有緊縮和脹大，但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊沿，空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。行星減速機(jī)在相同功率下，滲碳淬火齒輪的重量將是調(diào)質(zhì)齒輪重量的1/3左右。所以針對(duì)行星齒輪減速機(jī)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和齒輪的載荷性質(zhì)，應(yīng)該廣泛采用硬齒面齒輪。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)變時(shí)，氣體排出泵外。
　　蝸輪蝸桿行星減速機(jī)(分為齒輪減速器、蝸桿減速器等)的 主要特點(diǎn)是具有反向自鎖(self locking)功能，可以有較大的 減速比，輸入軸和輸出軸不在同一軸線上，也不在同一平面上�？谡謾C(jī)減速機(jī)一般用于在有限的空間里需要較高的轉(zhuǎn)矩時(shí)，即小體積大轉(zhuǎn)矩，而且它的可靠性和壽命都比正齒輪減速器要好。但是一般體積較大，傳動(dòng)效率不高，精度（精確度）不高。諧波行星減速機(jī)的 諧波傳動(dòng)是利用柔性(Flexible)元件可控的 彈性變形來(lái)傳遞（transmission)運(yùn)動(dòng)和動(dòng)力的 ，體積不大、精度很高，但缺點(diǎn)是柔輪壽命有限、不耐沖擊，剛性與金屬件相比較差。輸入轉(zhuǎn)速不能太高。行星行星減速機(jī)其優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)比較緊湊，回程間隙小、精度較高，使用周期很長(zhǎng)，額定輸出扭矩可以做的 很大。但價(jià)格略貴。齒輪行星減速機(jī)具有體積小，傳遞扭矩大的 特點(diǎn)。齒輪行星減速機(jī)在模塊組合體系基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)制造，有極多的 電機(jī)組合、安裝形式和結(jié)構(gòu)方案，傳動(dòng)比分級(jí)細(xì)密，滿足不同的 使用工況，實(shí)現(xiàn)機(jī)電一體化。齒輪行星減速機(jī)傳動(dòng)效率高，耗能低，性能優(yōu)越。擺線針輪行星減速機(jī)是一種采用擺線針齒嚙合行星傳動(dòng)原理的 傳動(dòng)機(jī)型，是一種理想的 傳動(dòng)裝置，具有許多優(yōu)點(diǎn)，用途廣泛(extensive)，并可正反運(yùn)轉(zhuǎn)。